HMI eScan 315晶圓檢測儀是一款由HMI公司制造的自動化晶圓和掩模檢查設備，旨在為圖案化晶圓和光罩檢查過程提供經(jīng)濟高效的解決方案。該系統(tǒng)采用專有的PAT-FINDER圖像處理器，并利用三通道彩色CCD相機準確捕捉高達143個晶圓或掩模的圖像。

HMI eScan 315晶圓檢測儀具有高級運動控制功能，包括多軸掃描和插值運動控制，能夠進行自動對準、掃描、照明和分析，以進行全面的缺陷審查，最大分辨率高達26百萬像素。此外，它還具備強大的技術、先進的運動控制功能和模塊化工程設計，是任何行業(yè)或研究機構的理想選擇。

需要注意的是，HMI eScan 315與HERMES MICROVISION / HMI eScan 315xp是不同的型號。后者是一款功能更強大、高精度的掩模和晶圓檢測設備，擁有先進的成像技術和軟件，提供自動缺陷檢測、測量、分割和分類能力，一直到納米級。eScan 315xp還結合了電子束光學、低溫掃描系統(tǒng)和高度的圖像解析算法，為用戶提供了無與倫bi的精度和準確性。

HMI eScan 315是一款功能強大且經(jīng)濟高效的晶圓和掩模檢查設備，適用于各種行業(yè)和研究機構的需求。